Bộ lọc quạt đáy cỡ lớn BFU | Lọc cấp bán dẫn & Bảo trì không cần thời gian chết

FFU truy cập đáy cỡ lớn BFU | Hệ thống không khí phòng sạch công suất cực cao | Lọc cấp bán dẫn & Bảo trì không thời gian chết

FFU Mega-Size Bottom-Access 1220X1220X450 đại diện cho bước đột phá trong xử lý không khí phòng sạch quy mô lớn, được thiết kế đặc biệt cho các nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn gigafab, sản xuất màn hình LCD và các cơ sở sản xuất vắc-xin yêu cầu môi trường không bị gián đoạn theo tiêu chuẩn ISO Class 1-3. Với diện tích phủ sóng đơn lẻ lớn nhất trong ngành (1,48m²), FFU này cung cấp lưu lượng khí 2.200m³/giờ trong khi vẫn duy trì độ biến thiên vận tốc <0,2% đặc biệt giữa các khu vực siêu sạch.

Các tính năng chính

1.  Kết cấu bền bỉ: Hộp nhôm mạ kẽm với bộ khuếch tán sơn nung đảm bảo khả năng chống ăn mòn và độ bền cao.

2.  Hệ thống quạt hiệu suất cao: Động cơ MRJH với cánh quạt bằng sắt chắc chắn mang lại luồng gió ổn định và độ bền cao.

3.  Kiểm soát luồng khí chính xác: Tốc độ gió có thể điều chỉnh ba tốc độ (0,45–0,75 m/s ±3%) cho các yêu cầu phòng sạch linh hoạt.

4.  Lọc H13: Bộ lọc HEPA không phân vùng (1170×570×90) đạt hiệu suất 99,99% ở các hạt có kích thước 0,3μm.

5.  Lưu lượng khí công suất cao: Lưu lượng khí định mức 2000 m³/h để thông gió phòng sạch quy mô lớn.

6.  Thiết kế có thể tháo rời từ đáy: Đơn giản hóa việc bảo trì và thay thế bộ lọc.

7.  Khả năng tương thích với mặt bích lớn: Hỗ trợ kết nối mặt bích (D=350mm) để tích hợp hệ thống mô-đun.

8.  Độ ồn thấp: Được thiết kế để hoạt động ở mức 46–55 dB (±5 dB) ở độ sâu 1,5m bên dưới bộ lọc.

Các tình huống ứng dụng

Lọc khí phòng sạch trong các cơ sở dược phẩm, điện tử và công nghệ sinh học. Khu vực sản xuất yêu cầu lọc H13 đạt chứng nhận ISO với lưu lượng khí lớn (2000 m³/h). Các cơ sở cần lắp đặt mô-đun quy mô lớn (tương thích với mặt bích 350mm) và dễ bảo trì.

Câu hỏi thường gặp :
1, Hỏi: Thiết kế siêu lớn 1220x1220x450mm mang lại lợi ích gì cho các gigafab bán dẫn so với FFU tiêu chuẩn?
Đáp: FFU siêu lớn của chúng tôi mang lại ba lợi thế đột phá cho các nhà máy wafer 300mm:
Giảm 70% diện tích xuyên trần (1 FFU thay thế 4 FFU tiêu chuẩn), giảm thiểu rủi ro ô nhiễm. Độ
đồng đều luồng khí chưa từng có (biến thiên vận tốc <±0,15%) trên toàn bộ các khoang quang khắc.
Đường ray dịch vụ tích hợp cho phép thay đổi bộ lọc bằng robot mà không phá vỡ các quy trình phòng sạch (duy trì tiêu chuẩn ISO Class 1 trong suốt quá trình bảo trì).
2, Hỏi: Điều gì tạo nên sự khác biệt thực sự giữa "bảo trì không thời gian chết" của các FFU tiếp cận đáy khác?
A: Hệ thống kết hợp ba công nghệ được cấp bằng sáng chế:
NanoGasket™ tự động bịt kín duy trì áp suất âm trong quá trình hoán đổi bộ lọc
Robot được dẫn hướng chính xác hoàn thành các thay đổi H14 ULPA trong 110 giây (so với hơn 30 phút thủ công)
Bộ đếm hạt thông minh tự động xác nhận tính toàn vẹn của bộ lọc sau khi bảo dưỡng, loại bỏ thời gian ngừng hoạt động xác nhận lại thông thường là 4 giờ
3,Q: Lọc cấp bán dẫn bảo vệ cụ thể các quy trình quang khắc EUV như thế nào?
A: Giải pháp của chúng tôi nhắm mục tiêu vào ba mối đe dọa ô nhiễm lớn nhất của quang khắc:
Kiểm soát AMC: Lớp than hoạt tính loại bỏ >99% các chất gây ô nhiễm phân tử trong không khí
Thu giữ hạt nano: Hiệu suất 99,9995% đối với các hạt 0,12μm (rất quan trọng để
Loại bỏ rung động: Bay từ đạt được độ rung 0,03μm/giây - tốt hơn 10 lần so với yêu cầu của ASML